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본 장비는 LCD GLASS PANEL 의 연삭 가공 후
GLASS 기판 세정을 위한 장비이다.
장비구성
기판 SHOWER ⇒ BRUSHING ⇒ HIGH PRESSURE
SHOWER ⇒ HOT SHOWER ⇒ AIR DRY ⇒ HOT DRY
⇒ COOLING ⇒ ION BLOW ⇒ INSPECTION ⇒
CENTRING ⇒ ION BLOW