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 장비구성
 LOADING ⇒ ACETON 세정 ⇒ IPA 세정 1 ⇒
 IPA 세정 2 ⇒ IPA VAPOR DRY ⇒ UNLOADING

 제어방식
 1. ROBOTIC TRASFORMATION AUTO CONTROL
 2. TOUCH PANEL DISPLAY CONTROL